当真空镀膜机出现故障后应首先要向使用者了解故障的现象乐乐地带论坛，之后要亲自开机观察故障，这样才能更准确、更快、更合理地排除故障溉组词。
在进行真空镀膜机故障排除时窝夫小子官网，应先检测低真空是否正常（机械泵、罗茨泵、管道、下室、蒸发室）秾李夭桃，低真空正常后再开主泵，主泵正常后检测下室真空中是否正常，下室真空正常再开高阀进行高真空检测检漏，左央直至达到真空桥本有菜，极限真空、保真空、恢复真空阿库诺洛基亚，如极限真空和保真空正常，而恢复真空和真空不正常则可能主泵有问题神枪少女。
下面就让我们来了解下真空镀膜机在使用过程中的常见故障及维修方法沙蟹汁。
1
抽真空速度慢
原因
解决措施
真空室脏
1、定期清洁设备罐体及电极
2、定期清理镀铝笼架
环境湿度大
1、减小环境湿度
2、缩短冷阱除霜周期
设备漏气
用检漏仪查找露点并修复
循环水温度高
1、检查循环水是否堵塞
2、降低循环水温度
泵体缺油
真空泵加油至标准范围内
扩散泵温度不够
检查扩散泵加热电阻
2
扩散泵反油
原因
解决措施
扩散泵温度高
检查扩散泵加热电阻
扩散泵循环水温度高
1、检查循环水是否堵塞
2、降低循环水温度
误操作神雕群芳谱，抽真空时充气
严格按照设备操作指导书进行操作
3
蒸发故障
原因
解决措施
蒸发电极接触不良
调整并打磨电极触点
电极与设备短路
更换或打磨电极绝缘垫片
蒸发功率变频器故障
更换或维修功率变频器
参数设置不正确
调整蒸发参数
4
放电故障
原因
解决措施
电极板击穿
更换或打磨电极板绝缘垫片
真空度过低电流过大报警
调整放电真空度在3Pa左右
放电电源开关没有打开
打开放电电源开关
5
抽真空速度快
原因
解决措施
高真空规管故障
打磨高真空规管
真空表故障
更换真空规管
注：文章整理来自网络，版权归原作者所有刘宜良，如有侵权请及时通知我们删除。
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